北京中科泰龙电子技术有限公司-微电子设备技术研究-新型集成电路制造

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ALD原子层沉积、 RIE反应离子刻蚀机、 ICP高密度等离子体刻蚀系统、

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北京中科泰龙电子技术有限公司成立于1992年，是中国科学院微电子研究所的控股公司，致力于推动微电子所科研成果的落地和产业化。

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